一、真空蒸鍍法成中小尺寸OLED面板量產(chǎn)主流技術(shù)，支撐蒸發(fā)源設(shè)備市場(chǎng)需求
OLED 有機(jī)發(fā)光層及輔助功能層的制備方法主要包括真空蒸鍍法和噴墨打印法兩種，其中真空蒸鍍法是中小尺寸面板量產(chǎn)的主流技術(shù)，而噴墨打印法在技術(shù)成熟度方面還有待提升，尚未形成產(chǎn)業(yè)化。
根據(jù)觀研報(bào)告網(wǎng)發(fā)布的《中國(guó)??蒸發(fā)源設(shè)備??行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)分析與投資前景研究報(bào)告（2025-2032年）》顯示，真空蒸鍍法工作原理是在真空環(huán)境中對(duì)有機(jī)發(fā)光材料加熱，使之氣化并沉積到基片上而獲得薄膜材料，這一過(guò)程又稱真空鍍膜。用于實(shí)現(xiàn)此類制備方法的真空蒸鍍?cè)O(shè)備由真空抽氣系統(tǒng)和真空腔體組成，其中真空抽氣系統(tǒng)涵蓋（超）高真空泵、低真空泵、排氣管道和閥門(mén)等組成，而真空腔體內(nèi)則配置了蒸發(fā)源、晶振片及掩膜板等核心部件。在真空腔體內(nèi)，設(shè)置了多個(gè)用于放置有機(jī)材料的蒸發(fā)源，這些蒸發(fā)源可以左右移動(dòng)，通過(guò)加熱使有機(jī)材料氣化蒸發(fā)，最終沉積在基板上形成薄膜。
AMOLED 面板需蒸鍍十余層有機(jī)材料，而蒸鍍的厚度與均勻度為關(guān)鍵指標(biāo)，兩種參數(shù)必須以納米級(jí)的精度進(jìn)行控制，直接決定著 OLED 面板的發(fā)光效率、顯示顏色以及良品率等核心性能。蒸發(fā)源作為進(jìn)行蒸鍍的核心組件，其性能決定著蒸鍍過(guò)程中的鍍膜厚度和均勻度，進(jìn)而對(duì)蒸鍍效果及良品率產(chǎn)生決定性影響，使用周期預(yù)計(jì)在十年左右，堪稱蒸鍍?cè)O(shè)備的“心臟”。因此，真空蒸鍍法成中小尺寸OLED面板量產(chǎn)主流技術(shù)，支撐蒸發(fā)源設(shè)備市場(chǎng)需求。
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二、蒸發(fā)源工藝以線源為主，面源應(yīng)用尚未成熟
蒸發(fā)源根據(jù)其宏觀形態(tài)的不同，可分為點(diǎn)源（Point Source）、線源（Linear Source）和面源（Planar/AreaSource）。
點(diǎn)源主要應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室制備器件，而面源工藝尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)模產(chǎn)業(yè)化。對(duì)于高世代 OLED 蒸鍍線或高分辨率 OLED 蒸鍍，線源仍為首選工藝。
截至 2020 年下旬，主流在建的 6 代 AMOLED 產(chǎn)線均廣泛采用線源技術(shù)，同時(shí)，LG 的 8.5 代線目前也主要采納線源蒸鍍工藝。
各類蒸發(fā)源特性、技術(shù)與市場(chǎng)前景比較
| 比較項(xiàng)目 | 點(diǎn)源 | 線源 | 面源 |
| 主要特性 | 束狀蒸鍍，材料裝填在桶狀的坩堝內(nèi)；在蒸鍍時(shí)，蒸發(fā)源為固定位置，基板旋轉(zhuǎn)，材料蒸鍍以蒸發(fā)源為中心扇面狀發(fā)散沉積在基板上。 | 線狀蒸鍍，材料裝填在長(zhǎng)方體狀的坩堝內(nèi)；在蒸鍍時(shí)，蒸發(fā)源來(lái)回移動(dòng)，基板固定，采用線狀掃描方式將材料沉積在基板上。 | 面狀蒸鍍，材料先蒸鍍到面源表面；在蒸鍍時(shí)，蒸發(fā)源與基板一般不發(fā)生相對(duì)位移或僅發(fā)生小幅度位移。 |
| 技術(shù)難度 | 受自身蒸鍍特點(diǎn)影響，在成膜精度、材料利用率、成膜均勻性、蒸鍍陰影控制等關(guān)鍵方面欠佳。 | 與點(diǎn)源相比，在設(shè)備構(gòu)造復(fù)雜度、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)技術(shù)難度方面明顯加大，技術(shù)門(mén)檻高，成本高。 | 尺寸增大，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，目前難于在量產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)。 |
| 市場(chǎng)前景 | 僅適用于試驗(yàn)線或小型蒸鍍線，如 4.5 代以下 OLE D 產(chǎn)線。目前高世代 OLED 有機(jī)層蒸鍍已不使用點(diǎn)源，僅在金屬電極層蒸鍍少量使用。 | 高世代 OLED 蒸鍍線或者高分辨率 OLED 蒸鍍，一般使用線源。目前主流在建的 6 代AMOLED 線均使用線源，LG 的 8.5 代線目前采用的也主要是線源蒸鍍工藝。 | 主要針對(duì)超高世代與超高分辨率 OLED 蒸鍍工藝，其技術(shù)難度要求極高。從目前來(lái)看，面源市場(chǎng)應(yīng)用還不成熟，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)還需要很長(zhǎng)時(shí)間。 |
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三、國(guó)產(chǎn)逐漸受到市場(chǎng)青睞，國(guó)外廠商壟斷蒸發(fā)源設(shè)備格局被打破
全球多家精密設(shè)備企業(yè)均對(duì)蒸發(fā)源進(jìn)行了開(kāi)發(fā)和研制，其中，三大國(guó)際知名廠商--日本愛(ài)發(fā)科、韓國(guó) YAS、韓國(guó) SNU掌握了大部分專利和核心技術(shù)，占據(jù)蒸發(fā)源設(shè)備主導(dǎo)。
蒸發(fā)源設(shè)備國(guó)際知名廠商簡(jiǎn)介
| 公司名稱 | 基本情況 | 主要產(chǎn)品 | 業(yè)務(wù)特點(diǎn) |
| 日本愛(ài)發(fā)科 | 成立于 1952 年，日本上市公司，全球領(lǐng)先的真空應(yīng)用設(shè)備生產(chǎn)商，其設(shè)備主要應(yīng)用于面板和半導(dǎo)體制造業(yè)和其他一般產(chǎn)業(yè)。 | 蒸鍍?cè)O(shè)備 | 擁有豐富的應(yīng)用程序，可適用于新開(kāi)發(fā)的蒸發(fā)源，對(duì)應(yīng)基板的尺寸在 2 代線以上 |
| 韓國(guó) YAS | 成立于 2002 年，韓國(guó)上市公司，OLED 工藝設(shè)備制造商 | 蒸鍍?cè)O(shè)備 | 與 LG 合作，合作開(kāi)發(fā)高世代蒸鍍?cè)O(shè)備 |
| 韓國(guó) SNU | 成立于 1998 年，韓國(guó)上市公司，OLED 以及 LCD行業(yè)相關(guān)設(shè)備制造商 | 蒸鍍?cè)O(shè)備與檢測(cè)設(shè)備 | 與 LG 合作，合作開(kāi)發(fā)高世代蒸鍍?cè)O(shè)備 |
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隨著國(guó)內(nèi)奧來(lái)德推出6 代 AMOLED 線性蒸發(fā)源產(chǎn)品，并逐漸受到市場(chǎng)青睞，成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，國(guó)外廠商壟斷蒸發(fā)源設(shè)備的格局被打破。
根據(jù)數(shù)據(jù)，2018-2023年奧來(lái)德蒸發(fā)源設(shè)備收入由15624萬(wàn)元增長(zhǎng)至19908萬(wàn)元，其中2021年收入達(dá)26238萬(wàn)元，增速高達(dá)39%。
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截至 2020 年，奧來(lái)德蒸發(fā)源產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)全部蒸鍍機(jī)市場(chǎng)中的占有率高達(dá) 57.58%，而在 Tokki 蒸鍍機(jī)中，這一數(shù)字則攀升至 73.08%。
截止 2023 年上半年，國(guó)內(nèi)面板廠商已進(jìn)行招標(biāo)采購(gòu)的 6 代 AMOLED 線性蒸發(fā)源供應(yīng)商包括奧來(lái)德、韓國(guó) YAS、日本愛(ài)發(fā)科、韓國(guó) SNU 等，奧來(lái)德是唯一入選的國(guó)內(nèi)企業(yè)。
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