前言:
光刻膠是繼硅片、電子特氣和光掩模之后的第四大半導(dǎo)體材料,其性能對(duì)芯片性能和良率產(chǎn)生直接影響。中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)能全球領(lǐng)先,半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)需求強(qiáng)勁。隨著半導(dǎo)體工藝和制程升級(jí),高端光刻膠需求迅速增長(zhǎng),其中EUV光刻膠占比仍然較小,增長(zhǎng)空間廣闊。
半導(dǎo)體光刻膠行業(yè)壁壘高,市場(chǎng)主要被美日企業(yè)占據(jù),JSR、東京應(yīng)化、美國(guó)杜邦、信越化學(xué)、住友及富士膠片等頭部廠商在半導(dǎo)體光刻膠的高端領(lǐng)域中占據(jù)極高的市場(chǎng)比重。近年來(lái),隨著中國(guó)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)過(guò)程中加速驗(yàn)證導(dǎo)入本土光刻膠以及上游樹(shù)脂國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加快,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠廠商迎來(lái)發(fā)展機(jī)遇,目前在 G/I 線、KrF、ArF 等領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)一定量產(chǎn)。
一、光刻膠及其相關(guān)輔助材料占比超10%,是第四大半導(dǎo)體材料
根據(jù)觀研報(bào)告網(wǎng)發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠行業(yè)發(fā)展深度分析與投資前景研究報(bào)告(2025-2032年)》顯示,光刻膠是一種圖形轉(zhuǎn)移介質(zhì),依賴于光化學(xué)反應(yīng),通過(guò)曝光顯影和刻蝕等工藝,將掩模板上所需的微細(xì)圖形精確地轉(zhuǎn)移到待加工的基片上。
光刻膠在半導(dǎo)體晶圓制造材料價(jià)值中的占比為5%,其輔助材料占比7%,合計(jì)達(dá)到12%。光刻膠及其相關(guān)輔助材料成為繼硅片、電子特氣和光掩模之后的第四大半導(dǎo)體材料。
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二、我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)能全球領(lǐng)先,半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)需求強(qiáng)勁
半導(dǎo)體制造的核心材料--光刻膠的性能對(duì)芯片性能和良率產(chǎn)生直接影響。中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)能全球領(lǐng)先,半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)需求強(qiáng)勁。數(shù)據(jù)顯示,2023年,中國(guó)大陸半導(dǎo)體產(chǎn)能占全球的比重達(dá)20%左右,中國(guó)大陸半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模占全球的23.1%。
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隨著中國(guó)晶圓廠密集投產(chǎn),發(fā)力半導(dǎo)體成熟制程,預(yù)計(jì)2028年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到10.36億美元,2023-2028年CAGR為13.8%。
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三、半導(dǎo)體工藝和制程升級(jí)下高端光刻膠需求迅速增長(zhǎng),EUV光刻膠前景廣闊
根據(jù)不同的曝光光源波長(zhǎng),半導(dǎo)體光刻膠細(xì)分為g線光刻膠、i線光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠、EUV光刻膠五類。
G/I線光刻膠是較早的光刻膠技術(shù),成熟應(yīng)用于汽車電子等領(lǐng)域;KrF光刻膠主要應(yīng)用于0.25um及以下各制程,特別是在3D NAND堆疊架構(gòu)的制作中;ArF光刻膠在浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)和負(fù)顯影工藝等技術(shù)的助力下,將先進(jìn)制程從45nm推進(jìn)至7nm工藝;EUV光刻膠是最新一代技術(shù),應(yīng)用于7nm以下集成電路的制造,在邏輯芯片和存儲(chǔ)DRAM芯片的生產(chǎn)中十分重要。
隨著半導(dǎo)體工藝和制程升級(jí),高端光刻膠需求迅速增長(zhǎng)。其中KrF光刻膠受3D NAND堆疊層數(shù)增長(zhǎng)驅(qū)動(dòng),ArF光刻膠用量增加受多重光刻工藝增長(zhǎng)驅(qū)動(dòng),光刻道次的增多將使EUV光刻膠需求增加。
根據(jù)數(shù)據(jù),2023 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體光刻膠中 ArF 和 KrF合計(jì)占據(jù)超八成的市場(chǎng)份額,其中ArF光刻膠達(dá)44.28%,是 2023 年國(guó)內(nèi)唯一正增長(zhǎng)的光刻膠種類。隨著人工智能強(qiáng)勁推動(dòng) AI 服務(wù)器和存儲(chǔ)芯片發(fā)展,以及集成電路先進(jìn)制程工藝增長(zhǎng),高端光刻膠需求進(jìn)一步增長(zhǎng),尤其是在用EUV 技術(shù)生產(chǎn)的芯片的增長(zhǎng)下,EUV光刻膠有望成為最具增長(zhǎng)潛力的細(xì)分市場(chǎng)。
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四、全球半導(dǎo)體光刻膠行業(yè)由美日主導(dǎo),國(guó)內(nèi)廠商在多領(lǐng)域實(shí)現(xiàn)突破
半導(dǎo)體光刻膠行業(yè)壁壘顯著高于PCB光刻膠和LCD光刻膠,集中體現(xiàn)在高純度以及復(fù)雜的生產(chǎn)工藝、巨額的設(shè)備投資、對(duì)關(guān)鍵原材料的高度依賴上,此外,光刻膠高技術(shù)特性使得其質(zhì)量直接影響下游產(chǎn)品的質(zhì)量,產(chǎn)業(yè)有著較高采購(gòu)成本與認(rèn)證成本,行業(yè)客戶壁壘高。
目前全球光刻膠市場(chǎng)主要被美日企業(yè)占據(jù),頭部廠商包括JSR、東京應(yīng)化、美國(guó)杜邦、信越化學(xué)、住友及富士膠片等,尤其在半導(dǎo)體光刻膠的高端領(lǐng)域中,上述企業(yè)占據(jù)更高的市場(chǎng)比重。
近年來(lái),國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠廠商迎來(lái)機(jī)遇。一方面,中國(guó)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)過(guò)程中加速驗(yàn)證導(dǎo)入本土光刻膠;另一方面,上游半導(dǎo)體光刻膠樹(shù)脂涌現(xiàn)了許多國(guó)產(chǎn)廠商,供給能力有所提高。目前,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠企業(yè)在 G/I 線、KrF、ArF 等領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)一定量產(chǎn),未來(lái)隨著技術(shù)壁壘的進(jìn)一步突破,半導(dǎo)體光刻膠國(guó)產(chǎn)替代加速突破。
中國(guó)光刻膠樹(shù)脂主要廠商布局情況
企業(yè) |
樹(shù)脂供應(yīng)類型 |
布局情況 |
威邁芯材 |
BARC樹(shù)脂 |
韓國(guó)工廠已量產(chǎn) 中國(guó)合肥工廠建設(shè)中 |
圣泉集團(tuán) |
顯示用酚醛樹(shù)脂 |
實(shí)現(xiàn)量產(chǎn) |
微芯新材 |
KrF用樹(shù)脂 |
研發(fā)階段 |
八億時(shí)空 |
KrF用PHS 樹(shù)脂 |
50公斤級(jí)別量產(chǎn) |
彤程新材 |
G/I線;KrF用樹(shù)脂 |
認(rèn)證階段 |
TFT-LCD Array正膠酚醛樹(shù)脂 LCD光刻膠酚醛樹(shù)脂 |
已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn) |
|
珠海雅天 |
ArF用樹(shù)脂 |
少量供應(yīng) |
徐州博康 |
KrF、ArF用樹(shù)脂和單體材料 |
實(shí)現(xiàn)供應(yīng)原材到成品光刻膠 |
資料來(lái)源:觀研天下整理
全球半導(dǎo)體光刻膠主要廠商布局情況
國(guó)家/地區(qū) |
企業(yè)名稱 |
g線/i線 |
KrF |
ArF(干式) |
ArF(浸沒(méi)式) |
EUV |
日本 |
JSR |
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東京應(yīng)化 |
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信越化學(xué) |
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富士膠片 |
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住友化學(xué) |
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美國(guó) |
陶氏杜邦 |
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德國(guó) |
默克 |
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韓國(guó) |
東進(jìn)世美肯 |
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- |
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- |
中國(guó)大陸 |
上海新陽(yáng) |
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下游驗(yàn)證中 |
下游驗(yàn)證中 |
- |
彤程新材 |
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下游驗(yàn)證中 |
下游驗(yàn)證中 |
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華懋科技(徐州博康) |
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晶瑞電材 |
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研發(fā)中 |
研發(fā)中 |
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南大光電 |
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少量出貨 |
少量出貨 |
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容大感光 |
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資料來(lái)源:觀研天下整理(zlj)

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