光刻機是一種用來制造微電子芯片、納米器件等微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。它利用紫外光通過光掩膜將芯片設(shè)計圖案投射在光敏材料上，并通過一系列化學、物理過程完成圖案轉(zhuǎn)移。
我國光刻機行業(yè)相關(guān)政策
為進一步優(yōu)化光刻機行業(yè)發(fā)展，我國陸續(xù)發(fā)布了一系列相關(guān)政策，如2024年工業(yè)和信息化部等七部門發(fā)布的《關(guān)于推動未來產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實施意見》提出推動有色金屬、化工、無機非金厘等先進基礎(chǔ)材料升級,發(fā)展高性能碳纖維、先進半導體等關(guān)鍵戰(zhàn)略材料，加快超導材料等前沿新材料創(chuàng)新應(yīng)用。
我國光刻機行業(yè)相關(guān)政策
| 發(fā)布時間 | 發(fā)布部門 | 政策名稱 | 主要內(nèi)容 |
| 2023年1月 | 工業(yè)和信息化部等六部門 | 關(guān)于推動能源電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的指導意見 | 加快功率半導體器件等面向光伏發(fā)電、風力發(fā)電、電力傳輸、新能源汽車、軌道交通推廣。 |
| 2023年7月 | 制選業(yè)可靠性提升實施意見 | 制選業(yè)可靠性提升實施意見 | 重點提升電子整機裝備用 SoCIMcU/GPU等真端通用芯片,氮化鏢/碳化硅等寬禁帶半導體功率器件、釉密光學元器件、光通信器件,新型敏感元件及傳惑器,高適應(yīng)性傳跑器模組、北斗芯片與器件、片式阻容感元件、高速連接器、高端射瀕器件, 高端機電元器件、LED 芯片等電子元器件的可靠性水平。 |
| 2023年7月 | 國家發(fā)展改革委等六部門 | 關(guān)于促進退役風電、光伏設(shè)備循環(huán)利用的指導意見 | 重點聚焦風機葉片纖維復合材料，以及光伏組件中半導體材料、金屬材料、聚合物等，探索兼顧經(jīng)濟性、環(huán)保性的再生利用先進技術(shù)和商業(yè)模式。 |
| 2023年8月 | 工業(yè)和信息化部、財政部 | 電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長行動方案 | 梳理基礎(chǔ)電子元器件、半導體器件、光電子器件、電子材料、新型顯示、集成電路、智慧家庭、虛擬現(xiàn)實等標準體系，加快重點標準制定和已發(fā)布標準落地實施。 |
| 2023年8月 | 國務(wù)院 | 河套深港科技創(chuàng)新合作區(qū)深圳園區(qū)發(fā)展規(guī)劃 | 聚焦網(wǎng)絡(luò)與通信、半導體與集成電路等前沿交叉領(lǐng)域，支持深港聯(lián)合國內(nèi)外高校、科研院所在深圳園區(qū)共建卓越研究中心、前沿交叉研究平臺、人工智能應(yīng)用示范平臺、數(shù)字經(jīng)濟與金融超級計算集群、“量子谷”，促進粵港澳大灣區(qū)科技資源深度融合。 |
| 2024年1月 | 工業(yè)和信息化部等七部門 | 關(guān)于推動未來產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實施意見 | 推動有色金屬、化工、無機非金厘等先進基礎(chǔ)材料升級,發(fā)展高性能碳纖維、先進半導體等關(guān)鍵戰(zhàn)略材料，加快超導材料等前沿新材料創(chuàng)新應(yīng)用。 |
資料來源：觀研天下整理
部分省市光刻機行業(yè)相關(guān)政策
為響應(yīng)國家政策規(guī)劃, 各省市對光刻機行業(yè)的發(fā)展做出了具體規(guī)劃,支持當?shù)毓饪虣C行業(yè)穩(wěn)定發(fā)展，比如河北省發(fā)布的《河北省“十四五”現(xiàn)代綜合交通運輸體系發(fā)展規(guī)劃》提出完善光刻機保障體系，進一步加強光刻機態(tài)勢感知和監(jiān)測預警，做好交通運輸關(guān)鍵信息、基礎(chǔ)設(shè)施和關(guān)鍵數(shù)據(jù)資源保護。
部分省市光刻機行業(yè)相關(guān)政策（一）
| 省市 | 發(fā)布時間 | 政策名稱 | 主要內(nèi)容 |
| 內(nèi)蒙古自治區(qū) | 2023年1月 | 支持呼和浩特市高質(zhì)量發(fā)展的意見 | 加快建設(shè)內(nèi)蒙古中環(huán)產(chǎn)業(yè)城，打造新一代半導體材料研發(fā)平臺，重點突破太陽能電池、光伏應(yīng)用核心部件研發(fā)生產(chǎn)“卡脖子”技術(shù)，打造千億級半導體產(chǎn)業(yè)集群。 |
| 江蘇省 | 2023年2月 | 關(guān)于推動戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)融合集群發(fā)展的實施方案 | 推動寬禁帶半導體電力電子器件、射頻器件、大功率半導體激光器等關(guān)鍵部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，建設(shè)國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進的第三代半導體產(chǎn)業(yè)基地。 |
| 湖南省 | 2023年3月 | 湖南省“智賦萬企”行動方案(2023—2025年) | 通過“十大技術(shù)攻關(guān)”“揭榜掛帥”等方式，加大新一代半導體、新型顯示、基礎(chǔ)電子元器件、關(guān)鍵軟件、人工智能、大數(shù)據(jù)、先進計算、高性能芯片、智能傳感等重點領(lǐng)域核心技術(shù)創(chuàng)新力度，提升基礎(chǔ)軟硬件、核心電子元器件、關(guān)鍵基礎(chǔ)材料供給水平，突破數(shù)字孿生、邊緣計算、區(qū)塊鏈、智能制造等集成技術(shù)。 |
| 寧夏回族自治區(qū) | 2023年3月 | 關(guān)于深入推進新型工業(yè)強區(qū)五年計劃的實施意見 | 推進半導體材料、藍寶石等電子元器件向產(chǎn)業(yè)鏈高端延伸，在智能終端、集成電路等領(lǐng)域取得突破。 |
| 江西省 | 2023年2月 | 科技興贛六大行動實施方案（2023-2025年） | 加快復合半導體材料、食品、稀土等優(yōu)勢領(lǐng)域省實驗室建設(shè)。推動省實驗室與省重點實驗室統(tǒng)籌協(xié)調(diào)、融合發(fā)展。到2025年，力爭新建省實驗室3-5個。 |
| 江西省 | 2023年7月 | 江西省制造業(yè)重點產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)代化建設(shè)“1269”行動計劃（2023-2026年） | 新能源動力系統(tǒng)領(lǐng)域，重點發(fā)展以功率半導體、功率金屬氧化物半導體效應(yīng)晶體管、繼電器等為代表的車規(guī)級零部件。 |
| 北京市 | 2023年9月 | 北京市促進未來產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展實施方案 | 面向前沿新材料需求，在海淀、房山、順義、大興、經(jīng)開區(qū)等區(qū)域，重點發(fā)展石墨烯材料、超導材料、超寬禁帶半導體材料、新一代生物醫(yī)用材料等細分產(chǎn)業(yè)。 |
| 廣東省 | 2023年9月 | 深圳市關(guān)于推動新材料產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施 | 優(yōu)化材料攻關(guān)機制，定期向半導體和集成電路、超高清視頻顯示、網(wǎng)絡(luò)與通信等下游應(yīng)用領(lǐng)域龍頭企業(yè)征集關(guān)鍵核心材料攻關(guān)需求，形成重點電子信息材料技術(shù)攻關(guān)清單，支持上游材料企業(yè)、高校、科研院所圍繞清單內(nèi)重點材料開展定向攻關(guān)，單個項目資助金額不超過3000萬元。 |
資料來源：觀研天下整理
部分省市光刻機行業(yè)相關(guān)政策（二）
| 省市 | 發(fā)布時間 | 政策名稱 | 主要內(nèi)容 |
| 河北省 | 2023年1月 | 加快建設(shè)數(shù)字河北行動方案（2023-2027年） | 加快石家莊信息產(chǎn)業(yè)集群建設(shè)，完善半導體材料、集成電路、衛(wèi)星互聯(lián)網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)鏈條，推動重大項目建設(shè)，打造千億級電子信息產(chǎn)業(yè)集群。 |
| 河北省 | 2023年9月 | 關(guān)于促進電子信息產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的意見 | 鞏固電子特種氣體、碳化硅襯底、半導體外延片、濺射靶材等基礎(chǔ)材料優(yōu)勢；發(fā)展硅片切割、芯片檢測等半導體專用裝備，提升射頻、光通信、傳感器等專用芯片設(shè)計水平；加快第三代半導體芯片器件、微波射頻、電源管理、高端傳感器等專用芯片生產(chǎn)線建設(shè)。 |
| 廣東省 | 2023年3月 | 廣東省推動新型儲能產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的指導意見 | 重點研發(fā)智能傳感器、電池管理芯片、功率半導體器件、直流變換器、能源路由器、斷路器、柔性配電裝備等關(guān)鍵設(shè)備，促進“光儲端信”深度融合和創(chuàng)新應(yīng)用。 |
| 廣東省 | 2023年9月 | 深圳市關(guān)于推動新材料產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施 | 優(yōu)化材料攻關(guān)機制，定期向半導體和集成電路、超高清視頻顯示、網(wǎng)絡(luò)與通信等下游應(yīng)用領(lǐng)域龍頭企業(yè)征集關(guān)鍵核心材料攻關(guān)需求，形成重點電子信息材料技術(shù)攻關(guān)清單，支持上游材料企業(yè)、高校、科研院所圍繞清單內(nèi)重點材料開展定向攻關(guān)，單個項目資助金額不超過3000萬元。 |
| 河南省 | 2023年9月 | 關(guān)于支持第三代半導體等5個細分行業(yè)發(fā)展的若干措施 | 支持第三代半導體材料、芯片、器件等產(chǎn)品市場開拓，對為應(yīng)用企業(yè)首次提供自主研發(fā)的產(chǎn)品，按照供需雙方第一年銷售合同額的10%（雙方各5%）給予一次性最高500萬元獎勵。 |
| 山西省 | 2023年3月 | 美麗山西建設(shè)規(guī)劃綱要（2023-2035年） | 做大做強做優(yōu)信息技術(shù)應(yīng)用創(chuàng)新、半導體等重點產(chǎn)業(yè)集群，打造全國重要的新興產(chǎn)業(yè)研發(fā)制造基地。 |
| 山西省 | 2023年11月 | 關(guān)于印發(fā)山西省加大吸引外商投資力度若干措施的通知 | 鼓勵外商投資企業(yè)在太原市重點投資特鋼材料深加工、高端裝備制造、風電設(shè)備、氫能、第三代半導體等重點產(chǎn)業(yè)鏈，發(fā)揮好內(nèi)陸地區(qū)對外開放新高地作用。 |
資料來源：觀研天下整理（xyl）
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