一、半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備是先進(jìn)制程和先進(jìn)封裝的重要設(shè)備
根據(jù)觀研報(bào)告網(wǎng)發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)分析與未來(lái)前景研究報(bào)告（2024-2031年）》顯示，半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備是晶圓劃片前形成切割道的重要設(shè)備，主要應(yīng)用于40nm及以下制程或先進(jìn)封裝應(yīng)用下的low-k晶圓表面開(kāi)槽。
隨著芯片制程的不斷縮?。?0nm及以下）和芯片集成度的不斷提高（以先進(jìn)封裝為代表），為提高芯片處理速度和降低互聯(lián)電阻電容（RC）延遲，low-k膜及銅質(zhì)材料得到廣泛應(yīng)用。但對(duì)于low-k介質(zhì)晶圓，傳統(tǒng)的刀輪劃片容易帶來(lái)崩裂、膜層脫落等問(wèn)題，而通過(guò)使用無(wú)機(jī)械負(fù)荷的激光開(kāi)槽，可抑制脫層，實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)加工并提高生產(chǎn)效率。因此激光開(kāi)槽設(shè)備主要用于low-k或金屬材質(zhì)的U型開(kāi)槽，以便后續(xù)刀輪或激光進(jìn)行劃片切割，從而提升良率及切割效果。
資料來(lái)源：觀研天下整理
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激光開(kāi)槽設(shè)備可大大提高砂輪切割的質(zhì)量和效率。常用的晶圓切割方式包括砂輪（或刀輪）切割、激光燒蝕切割、激光隱形切割等，其中激光切割的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。激光切割也分為激光半切、激光全切、激光隱形切等工藝，激光開(kāi)槽與砂輪切割結(jié)合的方式屬于激光半切的一種類型。在切割質(zhì)量方面，相比僅采用砂輪切割，激光開(kāi)槽與砂輪切割結(jié)合的方式能夠有效控制晶圓切割的正崩，提升加工質(zhì)量，同時(shí)可將砂輪切割的速度提升2~3倍，從而大大提高加工效率。
二、全球半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備行業(yè)規(guī)模有望持續(xù)擴(kuò)大，中國(guó)市場(chǎng)增長(zhǎng)較快
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備地位凸顯。根據(jù)數(shù)據(jù)，2022年全球激光開(kāi)槽設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為4.03億美元，半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為3.5億美元，占據(jù)激光開(kāi)槽設(shè)備市場(chǎng)接近90%的份額。
在先進(jìn)制程及先進(jìn)封裝快速發(fā)展帶動(dòng)下，半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備備市場(chǎng)規(guī)模有望持續(xù)增長(zhǎng)。預(yù)計(jì)2025年全球激光開(kāi)槽設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)5.76億美元，2023-2025年CAGR達(dá)13%。
數(shù)據(jù)來(lái)源：觀研天下數(shù)據(jù)中心整理
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按地區(qū)看，中國(guó)的激光開(kāi)槽設(shè)備市場(chǎng)在過(guò)去幾年增長(zhǎng)較快，2022年市場(chǎng)規(guī)模為1.2億美元，約占全球的30%。
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三、半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備市場(chǎng)被國(guó)外設(shè)備商壟斷
由于半導(dǎo)體制造對(duì)晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備的精度和穩(wěn)定性要求較高，該設(shè)備的研制難度較大，長(zhǎng)期以來(lái)被具有技術(shù)先發(fā)優(yōu)勢(shì)的國(guó)外設(shè)備商壟斷。全球主要的半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備廠商包括DISCO、ASMPT（ALSI）、EOTechnics、帝爾激光、德龍激光、Synova、邁為股份、鐳鳴激光、大族激光等，其中排名前三的廠商為DISCO、ALSI和EOTechnics，DISCO的份額最高，2022年CR3達(dá)73%。
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